核心业务

专业设备 &

主要产品

我们的客户

我们的优势

Core Business

Major

equipment &

Main products

Our

Advantages

Company Our Customers

Profile

晶标简介

重庆晶标电子科技有限公司（以下简称：晶标）

成立于2021年１月，注册资金1000万元，位于

重庆西永微电园标准厂房内，总面积2873平方米，

现有员工30人左右。

晶标电子

晶标 是上海良薇机电有限公司（以下简称：良薇）在重庆的制造中心，

是专业设计制作集成电路机台配套腐蚀设备及Hookup工程配套公司。

良薇 作为国内一家小型集成电路附属设备及工程公司已扎根行业近十

年，自主研发生产的附属设备也已经应用在各个国内主流集成电路生产线上。

服务行业 遍布各个专业领域，晶标目前涉及的有：光伏、硅半导

体、化合物半导体、光电、平板显示、微电子和高精密检测实验室等众多高

科技产业。

核心业务

专业设备 &

主要产品

我们的客户

我们的优势

Core Business

Major

equipment &

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Our

Advantages

Company Our Customers

Profile

晶标简介

在集成电路气体设备（设备中的一种喷水器件）、Canister，GasBox、

Diaphragm Valve、PT等关键部件上掌握了关键技术。

目前市场所有集成电路辅助设备的生产都以上海良薇公司（关联公司）的设

计及编程为核心。如Bubbler从2013年研发，到2015年生产，通过几年的更

新，目前占据了国内主流的12寸外延工艺的90%市场份额。

良薇的核心业务

4.3

2.5

3.5

4.5

2.4

4.4

1.8

2.8

0 1 2 3 4 5

类别 1

类别 2

类别 3

类别 4

市场份额

02

03 04

01 工艺机台阀箱

GasBox

隔膜阀

Diaphragm Valve

集成电路气体设备的一种过滤器件

Canister

压力传感器

PT

集成电路

辅助设备

核心业务

专业设备（生产技术

工厂布局

主要产品

）

我们的客户

我们的优势

Core Business

Major

equipment &

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Advantages

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晶标简介

IHARA切管机

对切断管理的剖面毛刺

、倒角

均有细致要求

，会影响焊接的

精度

，所以摒除手工切断使用

全自动切管机

。

世伟洛克M200自动焊机

电源可供用于可靠

, 稳定的轨道

钨极气体保护电弧焊

，可选择

自动内径吹扫系统

安捷伦氮测设备

真空氦气检测，1*

-10PmA/m³

（

1的负十帕每立方米）

ARC M217P自动焊机

焊接管道成型比较好，损

耗可降到最低，可微焊。

品质保证流程图

特殊气体供应系统

——GC/R，BSGS，VMB/P

蒸汽输送设备是通过使用载气和工艺液态源混合，通

过恒温系统精确控制温度从而使工艺液态源蒸发后以

蒸汽形式传输到工艺机台中以供使用。通过对于温度，

压力，液位的精确控制，从而使蒸汽稳定的输出。

01

02

03

通过合理的Tank及Panel设计使蒸

汽的饱和度达到一个稳定且高效的

状态

04

齐全的生命安全配置使设备拥有较

高的安全性

设备集成了多个关键性能参数的模

拟量信号，通过TCP/IP协议可与多

种监控软件及系统形成良好的对接

结合不同工艺主机台的需求提供多

个功能需求接点来达到与工艺主机

台的全面连动机制

化学品供应系统

—— CDS

CMP配套系统

—— Slurry

外延配套系统

—— TCS BSGS、Bubbler、TDCS系统

核心业务

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主要产品

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Core Business

Major

equipment &

Main products

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Advantages

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晶标简介

2000.6

2011.1

2020.7

2020.12

1.资源赋能优势

新政策的出台将长期利好集成电路行业发展，加速集成电路国产化进程。

2.项目竞争优势

目前市场所有集成电路辅助设备的生产都是以良薇的设计及编程为核心。

另外通过各个客户的合作，使设备的集成度更高，集成了相应工艺的关键参数，加强了自动化的软体程序的安全性，稳定性以及高效性。

Canister（国内）

2019年占比达到25.08% Bubbler （国内）

2019年占比达到17.45%

Bubbler（国内）

目前占据了国内主流的12寸

外延工艺的80%市场份额

气体设备（国内）

2019年占比达到0.91%

3.工艺成熟优势

项目设备（设计、加工及应用）从集成电路生产线管道传感器、晶体涂层的均匀性、设备软件控制的精准性，均得到了客户的充分认可和满意。

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晶标简介

华润微电子（重庆）有限公司

中国电子科技集团公司第四十四研究所

天津中环电子信息集团有限公司

厦门士兰集科微电子有限公司

华虹半导体有限公司

上海硅产业集团股份有限公司

上海晶盟硅材料有限公司

我

们

目

前

三

年

以

上

的

主

要

客

户

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联系我们 重庆晶标电子科技有限公司

重庆市沙坪坝区西永大道西园二路98号西永标准厂房1期1单元4楼

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Mobil:139 1725 8560

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