2018年采购部内部技术交流会 会议简报（不锈钢洁净管道）

汇报人：唐志刚

中国电子系统工程第二建设有限公司

1 定义与分类

2 应用与检测

3 采购注意事项

4 品牌及成本分析

不锈钢

洁净管道

1 定义与分类

1-1 不锈钢洁净管道的定义

定义：无尘、无油，表面粗糙度较小的不锈钢管道。

1 定义与分类

1-2 表面粗糙度

在不锈钢表面加工过程中，绝对光滑的表面是一种理想状态，实际上永

远都达不到。经过加工的不锈钢材料，无论看起来多么光滑，表面一定

会产生高低起伏的现象。

如果放大来看，加

工表面的高低起伏，

实际上是由许多微

小的凸峰和凹谷组

成。按其几何形状

特征的不同，我们

把表面形貌分为表

面粗糙度、表面波

纹度和形状误差。

1 定义与分类

1-2 表面粗糙度

波距小于1mm，属于微观几何形状误差——表面粗糙度。

波距介于1~10mm的并呈周期性变化的——表面波纹度。

波距10mm以上的且不呈明显周期性变化的——宏观的几何形状误差。

相比较波纹度和形状误

差，表面粗糙度实际上

是极细微的不平，波距

小于1mm，肉眼已无法

精确识别，必须借助工

具才能观察清楚。

1 定义与分类

1-2 表面粗糙度—评定参数：Ra、Rz、Ry

表面粗糙度是评定表面质量的一项技术指标，表面粗糙度要求越高（即

表面粗糙度参数值越小），则其加工成本也越高。

表面粗糙度的单位是微米(μm)，即0.001mm。通常有如下三种评定参数：

轮廓算术平均偏差Ra：指在一定的取样长度内，轮廓上各点到轮廓中线

距离绝对值的平均值。

Ra能充分反映表面微

观几何形状高度方面

的特性，但因受计量

器具功能的限制，不

用作过于粗糙或太光

滑的表面的评定参数。

1 定义与分类

1-2 表面粗糙度—评定参数：Ra、Rz、Ry

微观不平度十点平均高度Rz：指在取样长度内５个最大的轮廓峰高平均值与5

个最大轮廓谷深平均值之和。

Rz只能反映轮廓的峰高，不能反映峰顶的尖锐或平钝的几何特性，同时若取点

不同，则所得Rz值不同，因此受测量者的主观影响较大。

轮廓最大高度Ry：在取样长度内，轮廓的峰顶线和谷底线之间的距离。

Ry是微观不平度十点中最高点和最低点至中线的垂直距离之和，因此它不如Rz

值反映的几何特性准确，它对某些表面上不允许出现较深的加工痕迹和小零件

的表面质量有实用意义。

表面粗糙度，是指加工表面具

有的较小间距和微小峰谷不平

度。其两波峰或两波谷之间的

距离（波距）很小（在1mm以

下），用肉眼是难以区别的，

因此它属于微观几何形状误差。

表面粗糙度越小，则表面越光

滑。定义的主要参数是Ra或Rz、

Ry，是国际间交流使用最广泛

的参数。但在粗糙度基本评定

参数中，一般优先选用 Ra。

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

a.按材质分

304 — 牌号06Cr19Ni10

304L — 牌号06Cr19Ni10

316L — 牌号06Cr17Ni12Mo2 添加钼元素

使其具有更

好的抗氯化

物腐蚀能力，

最常见

304L /316L是碳含量较低的

304/316不锈钢变种，用于

需要焊接的场合。较低的碳

含量使得在靠近焊缝的热影

响区中所析出的碳化物减至

最少，而碳化物的析出可能

导致不锈钢在某些环境中产

生晶间腐蚀（焊接侵蚀）。

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

b.按表面处理方式（Ra值）分

AP （Annealed & Pickled）：即酸洗钝化

MP（国产管做法，机械抛光）

BA （Bringt Annealed）：即光亮退火 Ra≤0.50μm

EP （Electro—Polished）：即电解抛光 Ra≤0.25μm

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

Ra=1.2

AP管

管道内表面经过酸性溶液（硝酸与亚氟酸等）酸洗

钝化、清洗，来除去钢管的氧化层，不会降低表面

粗糙度，但可去除表面残存的颗粒和油脂，再经过

洁净禁油清洗，可以达到电子级AP管要求。

AP从字面意思来说是酸洗

钝化表面，在洁净级产品

的范畴里面来说是酸洗表

面+禁油清洗

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

指在低于再结晶温度下

使金属产生塑性变形的

加工工艺，如冷轧、冷

拔、冷锻、冲压、冷挤

压等。冷加工变形抗力

大，在使金属成形的同

时，可以利用加工硬化

提高工件的硬度和强度,

但会使塑性降低。冷加

工适于加工截面尺寸小，

加工尺寸和表面粗糙度

要求较高的金属件。

BA管

RA=0.3

AP管

冷加工

Cold draw

光亮退火

Bright annealing BA管

在加氢或真空状态高温热处理，一方面消除内应力，

另一方面在管道表面形成一层钝化膜，以改善形态

结构，减少能量水平，降低了表面粗糙度

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

通过电化学抛光，可以极大地提高表面形态及结构，

使表层面积得到极大的程度的减少。表面是一层封

闭的、厚厚的氧化铬膜，接近合金的正常水平，增

加抗腐蚀能力，同时介质数量也会降为最少。

EP管

RA=0.15

AP管

冷加工

Cold draw

光辉烧结

Bright annealing BA管

电解抛光

Electro polish

EP管

1 定义与分类

1-3 洁净管道分类

总结

a.按Ra值：AP＞BA＞EP

b.按工艺：AP→BA→EP

1 定义与分类

1-4 执行标准

a.日标（JIS）：PIPE SIZE

小尺寸（6 A ~300A）—JIS G3459

大尺寸（350A~800A）—JIS G3468 壁厚：SCH.5S、10S、20S、40S

b.美标（ASTM）：TUBE SIZE

小尺寸（1/8’’~4-1/2’’）—ASTM A269

大尺寸（ 5’’~12’’ ） —ASTM A312 壁厚：SCH.5S、10S、20S、40S

注意：

（i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为34.4mm，在TUBESIZE其OD为

25.4mm

（ii）在PIPE SIZE中：25A又称1” 50A又称2” 80A又称3” 100A又称4”

（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、

2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”

（八分）

厂牌：SUMIKIN，KUZE，NEWBEST

厂牌：VALEX，DOCKWEILER，EGMO

2 应用与检测

2-1 不锈钢洁净管道应用于哪些气体？

 行业：半导体，显示器，LED光伏，太阳能

 大宗气体（BULK GAS）

 特殊气体（SPECIALITY GAS）共两大类

 前者使用量较大：如N2、Ar、O2等

 后者使用量较小：一般指用量小，对人体造成生命威胁的特殊气体，如SiH4、

NF3、Cl2等

 但大宗气如GN2、PN2、PAr、PHe具有窒息性的危险，这些气体无臭、无色、无

味，如大量泄出致空气中含氧量（一般为21﹪）减少至16﹪以下时，即有头痛与

恶心现象。当氧气含量少至10﹪时，将使人陷入意识不清状态，6﹪以下瞬间昏

倒，无法呼吸，6分钟以内即死亡。PH2因泄漏或混入时，其本身之浓度只要在

H2之爆炸范围(4%－75%)内（如对空气），只要一有火源，此气体乃会因相混而

燃烧。PO2会使物质易于氧化产生燃烧（助燃性），造成火灾。

GB 50724-2011 大宗气体纯化及输送系统工程技术规范

GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范

2 应用与检测

2-2 管材的选用

 使用范围

（1） EP 级别管道

高纯气体（5N&6N或以上），毒性（PH3 、AsH3、

SiH2Cl2)，腐蚀性（Cl2 、NH3)，易燃易爆（SiH4)气体

（2） BA级别管道

普通气体 :GN2、GO2、GH2、 CDA

（3）AP级别管道

压缩气体，双套管外管

2 应用与检测

2-3 配套阀门的选用

 阀门选用（常规做法，看设计）

（1） EP 级别管道

1/4’’-1/2’’：隔膜阀（VCR）；

3/4’’及以上：波纹管阀（焊接）

（2） BA级别管道

1/4’’-1’’：球阀（LOK）；1-1/2’’

及以上：球阀（焊接）

2 应用与检测

2-4 管材的连接

 自动焊接

（1） 自动焊机

充氩自动保护焊，将空气隔离在焊区之

外，防止焊区的氧化。焊缝成形美观,焊

纹细腻致密,焊缝宽窄一致,内表面光亮平

滑,收弧质量好,通X-Ray无损探合格率高

（2） 焊样

在正式焊接前、更换焊头后、更换钨棒

后、改变焊接口径后以及结束焊接前，都

应进行焊接测试

2 应用与检测

2-5 管道系统五项测试

 半导体厂一般测试要求

 五项测试

 1、保压测试

 2、氦检露测试：利用氦气（相

对原子质量为4）作为介质，测

试已施工完成的管道密闭程度，

atm.cc/sec：一个标准大气压

下，每秒钟每立方厘米单位内

的漏率

 3、水份测试

 4、氧份测试

 5、颗粒度测试：测试已施工完

成管道里的颗粒物污染程度

2 应用与检测

2-6 供气系统简介

3 采购注意事项

 1.材质

304，304L，316，316L

 2.口径标准及壁厚

美标，日标，5s，10s，注明外径壁厚（如1/2’’，12.70mm*1.24mm），

另外注意配套阀门的口径壁厚是否与管道相同

 3.明确有缝无缝

1’’以下为无缝，1’’既有有缝也有无缝，1’’以上为有缝

 4.Ra值

每个业主要求不同，每个厂家的执行数据也不同

 5.米数取整

管道6米或4米一支，整支销售

4 品牌及成本分析

1.一档高端

早期洁净管道三剑客：SUMIKIN，KOBE，KUZE，均为日本品牌，价格不具备竟争力

在日本半导体行业萎缩之后，这三大品牌分别选择以下不同的生存策略：

 KUZE：转入韩国建厂，降低成本，进入中国大陆及台湾销售

 SUMIKIN：仍留由日本生产，进入高端产品行业

 KOBE：与台湾强新（NEWBEST）合作，原生产线及技术迁入台湾，再销往日本及大陆

KUZE—上海上茂国际贸易有限公司

4-1 品牌档次分析

4 品牌及成本分析

2.二档主流

 NEWBEST ：台湾品牌，自称日本KOBE技术移转，2006年左右与我公司合

作，为目前市场上主流品牌，性价比相对较高，我公司洁净管道的主要供

应商，在中国的销售渠道直属台湾强新股份有限公司，强新在大陆设置分

公司：苏州元钛新商贸有限公司。

 VALEX：美国品牌，由上海实科贸易有限公司代理销售，同时上海正帆

（国内较出名的气体系统工程公司）拥有原厂价格使用权，不需通过实科

购买。所以早年上海正帆在比较多的LED项目中带入此品牌，因此近年名

气也大有上升。但目前在上海建有工厂，部分小尺寸EP管及常规尺寸BA

管在国内加工，其美国产品价格略高，一般业主多排斥其国内产品。

4-1 品牌档次分析

4 品牌及成本分析

3.三档常见

 DOCKWEILER：德国品牌，最早是做BPE管道，也就是生物制药管道，后面转

入半导体行业，约在1999年由上海盛邦工业装备有限公司取得亚太区代理权

（上海盛邦有自主品牌）。早年因为缺少同类产品竞争，取得一定的业绩，近

年产品性价比不好，业绩下滑过多，已非主流品牌。目前盛邦多喜欢推自己的

自主品牌SCT，品牌意思是SUPEX(盛邦公司名) CLEAN TUBE，说是韩国生产。

 ASFLOW:韩国品牌，做接头起家。在韩国有少量的小尺寸管道生产，但近年在

大陆代工较多，代理商是铭帛贸易（上海）有限公司。

 EGMO：以色列品牌，成交记录较少，由诺戈（上海）贸易有限公司代理。听

说现在以国产化为主，价值比国产管道略高。我司15年惠州信利特气项目购买

的EGMO产品，由于质量问题全部退货。

4-1 品牌档次分析

4 品牌及成本分析

4-1 品牌档次分析

4.Ra值的差异

KUZE EP:

RA<=0.25微米

VALEX 的 EP 有三个系列：

501:V+V 材料，多次熔炼，一般不常用

401:RA 分别是<= 0.13、 <= 0.18、 <= 0.25 微米三种等级。

301:单次熔炼，RA <= 0.25 微米，为其常规品

NEWBEST EP：

RA<= 0.125 微米。

单从常规交货的粗糙度上来看，为NEWBEST最优

4 品牌及成本分析

4-2 禁油清洗成本简析 对象：NEWBEST品牌洁净AP管道、广州永大普通AP管道

依据: 洁净AP管道是在普通AP管道基础上“禁油清洗”加工而来

 1.尺寸越小，禁油清洗

成本所占比例相对较

高

 2.尺寸大于等于200A

时，禁油清洗成本所

占比例趋近60%

 3*.“原材料”与禁油

清洗成本几乎成三七

开

如果原材料上涨10%，

洁净AP管道涨幅在多

少较为合适

？

4 品牌及成本分析

4-2 禁油清洗成本简析 禁油清洗成本与管道口径关系的图表分析

4 品牌及成本分析

4-3 光亮退火成本简析 对象：NEWBEST品牌洁净AP管道、 NEWBEST品牌洁净BA管道

依据: 洁净BA管道是在洁净AP管道基础上光亮退火“加工”而来

 “原材料”与光亮退

火成本几乎成五五开

4 品牌及成本分析

4-4 电解抛光成本简析 对象：NEWBEST品牌洁净AP管道、 NEWBEST品牌洁净BA管道

依据: 洁净EP管道是在洁净BA管道基础上电解抛光“加工”而来

尺寸越大，电解抛光成本

所占比例越高

谢

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