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Confidential 2

产品介绍—光刻胶剥离液

剥离液系列 - RPSTR-07产品描述

测试效果

优势

检测项目

（Inspection Item)

单位

(Unit)

规格

(Guarantee Value)

外观 / 无色透明液体

含量（单乙醇胺） % 38.0±2.0

含量（二乙二醇单

丁醚） % 61.0±1.0

添加剂 % 1.0±0.05

➢ 有机系剥离液，适用于正性光刻胶的剥离去除➢ 剥离液去胶效率高，兼容4/6寸半导体（ InGaAs,Al,Ag基底）； ➢ 可防止Al/Ag金属布线衬底的电偶腐蚀现象； ➢ 产品原料均国产化，原料来源稳定； ➢ 通过自有技术提纯，整体生产成本可控。

Confidential 3

产品介绍—光刻胶剥离液

研发进展 已结项，配方完成确认，形成放大工艺包交付代工厂生产，对接合肥芯科

进行政府材料申报后转至芯科。

当前客户进展 暂只有青岛惠科一家客户

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产品介绍—光刻胶剥离液

序号 状态 厂商 工厂代码 地点 当前产能

（万片/月）

规划产能

（万片/月）

1 建成 广义微电子 / 四川 15 15

2 建成 英锐半导体 / 江苏 2.5 5

3 建成 芯睿电子 / 河南 2 2

4 建成 惠科 / 青岛 / 20

5 建成 瞻芯 / 义务 / 2.5

6 建成 西岳电子 / 西安 1.8 /

7 建成 深圳方正 / 深圳 2.5 /

8 建成 三安集成 / 厦门 3 /

9 建成 厦门集顺 / 厦门 6 /

10 建成 吉林华微 / 吉林 6 /

11 建成 北京燕东 / 北京 2 /

12 建成 中科院微电子所 / 北京 2 /

13 建成 华润上华 / 无锡 13 /

14 建成 华润晶芯 / 无锡 4 /

15 建成 华润华晶 / 无锡 12.5 /

16 建成 无锡KEC / 无锡 3 /

17 建成 东光微电子 / 宜兴 2 /

18 建成 同冠微电子 / 苏州 3 /

19 建成 东晨微电子 / 宜兴 2 /

20 建成 扬州杨杰 / 扬州 10 /

序号 状态 厂商 工厂代码 地点 当前产能

（万片/月）

规划产能

（万片/月）

21 建成 上海新进 / 上海 5 /

22 建成 上海新进芯 / 上海 2 /

23 建成 上海先进 / 上海 4 /

24 建成 杭州士兰 / 杭州 5 /

25 建成 杭州立昂 / 杭州 2 /

26 建成 比亚迪半导体 / 宁波 3 /

Confidential 5

产品介绍—光刻胶剥离液

剥离液系列 - RPSTR-08

➢ 有机DMSO系列剥离液，适用于15-25μm厚度负胶剥离；

➢ 剥离液去胶效率高，应用于后端封装半导体（ TiW,Al,Au

基底）；

➢ 产品原料均国产化，原料来源稳定。

 抗腐蚀性能对比：

 去胶性能对比：

Confidential 6

产品介绍—光刻胶剥离液

剥离液系列 - RPSTR-09

➢ 取代DMSO系列剥离液，适用于15-25μm厚度负胶剥离；

➢ 剥离液去胶效率高，防止回沾；

➢ 去胶无腐蚀，去胶温度50-60℃；

➢ 产品原料均国产化，原料来源稳定，无变色风险。

 去胶性能对比：

 抗腐蚀性能：

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产品介绍—光刻胶剥离液

研发进展

1、封装端负胶剥离液共计开发两款配方，DMSO系及非DMSO系各一款通过烧杯测试送

测客户；

2、DMSO系配方通过客户小量验证，反馈性能较竞品更好可中大量测试，但成本较高；

3、非DMSO系配方成本较低，但反馈存在成品铝垫氧化发黑现象（Al制程样片未发现

此现象），已协调客户寄送成品铝垫进一步微调

当前客户进展

1、新汇成（合肥）送样两款，小量测试完成，DMSO系通过测试可进一步中大量测试，

非DMSO系列已协调客户寄送成品铝垫进一步微调;

2、新汇成（扬州）已初步完成沟通，客户要求合肥完成验证后再进行扬州厂的导入；

2、通富微（厦门）样片获取完成并完成烧杯实验，报告已反馈客户，所需指标满足

要求，因样片量不足正沟通获取样片进行最终溶解度实验。

Confidential 8

产品介绍—光刻胶剥离液 序

号

公司名称 城市

铜柱 锡球 金球

6” 8” 12” 6” 8” 12” 6” 8” 12”

合肥新汇成微电子 合肥 √ √

威讯联合半导体 北京 √ √ √ √ √ √

晶旺半导体 厦门 √ √ √ √

通富微电子 厦门 √ √ √ √

通富微电子 南通 √ √ √ √ √ √

云天半导体 厦门 √ √ √ √ √ √

纳沛斯半导体 淮安 √ √ √ √ √ √

江阴长电先进封装 江阴 √ √ √ √ √

盛合晶微半导体 江阴 √ √

华天科技 昆山 √ √ √ √

华天科技 南京 √ √ √ √

芯德半导体 南京 √ √

颀中科技 苏州 √ √ √ √ √ √ √

捷研芯电子 苏州 √ √

绍兴中芯集成 绍兴 √ √

Confidential 9

产品介绍—光刻胶剥离液 序

号

公司名称 城市

铜柱 锡球 金球

6” 8” 12” 6” 8” 12” 6” 8” 12”

晶方半导体 苏州 √ √ √ √

太极半导体 苏州 √ √ √ √ √ √ √ √ √

矽品科技 苏州 √ √ √ √

华进半导体 无锡 √ √ √ √

无锡中微高科电子 无锡 √ √ √ √

联立半导体 徐州 √ √

中科智芯集成 徐州 √ √ √ √

青岛新核芯 青岛 √ √ √ √

山东齐芯微系统科技 淄博 √ √

安靠封装测试 √ √ √ √

上海易卜半导体 上海 √ √ √ √

盛合晶微半导体 上海 √ √

德州仪器半导体制造 成都 √ √ √ √

浙江禾芯集成电路 宁波 √ √

甬矽电子 宁波 √ √ √ √

Confidential

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