Smr目錄

1-4 -------------------- QVDBF系列高真空扩散焊设备

5-6 -------------------- QVAR系列真空电弧重熔炉设备

7-9 -------------------- QEIGA电极感应惰性气体雾化制粉设备

10-12 -------------------- QVIGA真空感应惰性气体雾化制粉设备

13-14 -------------------- QEVGA双模式真空感应惰性气体雾化制粉

15-16 -------------------- JVAM-1型非自耗真空电弧炉

17-18 -------------------- JVAR-5型真空自耗电弧炉

19-20 -------------------- JMSP-1型真空感应甩带机

21-22 -------------------- JMSW-1型高真空感应甩丝机

23-24 -------------------- JVIM-2型真空感应熔炼炉

25-26 -------------------- JISM-2型冷坩埚真空感应悬浮熔炼炉

27-28 -------------------- JDSF-1型布里奇曼定向凝固炉

29-30 -------------------- JVIZM-2型真空感应区熔炉

31-32 -------------------- JVGA-2型双模式真空感应惰性气体雾化制粉系统

33-34 -------------------- JAPN-1型电弧等离子体纳米粉制备系统

35-36 -------------------- JVPF-150型高温真空热压炉

37-38 -------------------- JSPS-8KA型等离子体放电热压烧结炉

39-40 -------------------- JVHF-223型真空热处理炉

41-42 -------------------- JHHF-200型超高温真空炉

1

HIGH VACUUM DIFFUSION BOLDING FURNACE

设备用途

真空扩散焊接是指在洁净真空或高纯气体保护环境下，在高温和压力的共同作用下，相互接触

的同质或异质材料表面的原子分散和结合，经一定时间后结合层原子间相互扩散而形成整体的可靠

连接的过程。

真空扩散焊接炉是将高温材料和其他高强度合金材料连接在一起而无需钎料的理想工艺设备。焊

接的典型材料包括不锈钢、钛、锆、铍、高合金铝、铬镍铁合金和钨；该工艺还用于焊接不同金属，如铜-钛、

铜-铝、铜-钨、甚至钼-铝、不锈钢陶瓷等。主要产品有换热器、冷却板、模具等。

设备特点

 有效体积可按客户要求设计 • 极限真空度优于 1 x 10-4Pa

 最高工作温度 1350℃或 1600℃ • 加热过程的全自动控制

 可控硅控制器使加热元件的功效最优化 • 有效均温区温度均匀性最佳优于±4℃

 简单安全的工艺操作过程 • 出色的节能效果，系统泄漏率低于 10-6Pa l/s

 多联杆结构设计，压力分布更均匀 • 压板和所有的加压部件可以更换,高度可调

 极短的抽真空和工艺时间 • 比例阀闭环控制压力,比例阀闭环控制压力

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 多联杆及压板材质根据温度及工艺选择，TZM（钛锆钼）合金或者等静压石墨

技术参数

 压机结构形式 ：二梁四柱，上部加压，下部承力

 炉体结构形式 ：前开门或前后开门结构

 工作区尺寸 ：根据工件规格选择

 最 高 温 度 ：1350℃/1600℃

 工作区均温性 ：≤±5℃（800℃，1100℃空载九点测温法测定

 加热室形式 ：方型，三区或六区加热，高温钼发热体，全金属隔热屏

 空炉升温速率 ：0~15℃/min（可控）

 控 温 精 度 ：±1℃

 极限真空度 ：≤1×10-4Pa（分子泵）或≤6×10-4Pa（扩散泵）

 工作真空度 ：≤6×10-3Pa

 压 升 率 ：≤0.67Pa/h

 抽气速率 ：≤40min 到工作真空度（冷态、空载、干燥状态）

 液压缸位移控制精度 ： 0.1mm

 油缸/压头数量 根据规格选择

3

 压 力 传 感 器 ： 精 度 ±0.3%

 调压精度（压力控制精度）： ≤±1%×额定压力

 恒 压 时 间 ： ≥12 小 时

 上压头动密封形式 ： 波纹管

 上压板（压头）移动速度 ：0～10mm/s（任意设定）

 上压板（压头）位移精度 ： ±0.5mm

 压机位移传感器精度 ： ±3μm

 上、下压板各自平面度 ： ≤0.08mm

 上、下压板间平行度 ：≤0.1mm

 上 压 头 行 程 ：≥150mm

 强制冷却系统冷却方式 ： 惰性气体炉内循环冷却

 强制冷却系统最大气冷压力： ≤2bar（绝对压力）

 炉 子 表 面 温 度 ： ≤ 室 温 +15℃

 控 制 方 式 ： 工 控 机 自 动 控 制 系 统

规格型号：也可根据产品规格非标准定制

序

号

型号

有效工作区尺寸

（宽ⅹ深ⅹ高）

极限

真空度

最高温度

控温精度/

温度均匀性

最高

压力

恒压

控制精度

备注

1 QVDB1-222 200mmⅹ200mmⅹ200mm 1ⅹ10

-4 1600℃ ±1℃/±4℃ 50T 3‰ PID 分子泵

2 QVDB1-333 300mmⅹ300mmⅹ300mm 1ⅹ10

-4 1600℃ ±1℃/±4℃ 80T 3‰ PID 分子泵

3 QVDB1-444 400mmⅹ400mmⅹ400mm 1ⅹ10

-4 1600℃ ±1℃/±4℃ 100T 3‰ PID 分子泵

4 QVDB1-666 600mmⅹ600mmⅹ600mm 1ⅹ10

-4 1600℃ ±1℃/±4℃ 200T 3‰ PID 分子泵

5 QVDB1-886 800mmⅹ800mmⅹ600mm 6ⅹ10

-4 1350℃ ±1℃/±4℃ 400T 3‰ PID 扩散泵

6 QVDB1-997 900mmⅹ900mmⅹ700mm 6ⅹ10

-4 1350℃ ±1℃/±4℃ 600T 3‰ PID 扩散泵

4

序

号

型号

有效工作区尺寸

（宽ⅹ深ⅹ高）

极限真

空度

最高温度

控温精度/

温度均匀性

最高

压力

恒压控制

精度

备注

1 QVDB2-6612 600mmⅹ600mmⅹ1200mm

6ⅹ10

-4

1350℃ ±1℃/±4℃ 400T 3‰ PID 扩散泵

2 QVDB2-8816 800mmⅹ800mmⅹ1600mm

6ⅹ10

-4

1350℃ ±1℃/±4℃ 600T 3‰ PID 扩散泵

3 QVDB2-9918 900mmⅹ900mmⅹ1800mm

6ⅹ10

-4

1350℃ ±1℃/±4℃ 800T 3‰ PID 扩散泵

5

Vacuum Arc Remelting furnace 设备用途

在真空环境下，电弧产生于自耗电极底部（阴极）和坩埚底部（阳极）之间，当电弧形成，能够迅速产生

一个金属熔池。电极底部和被熔化材料上部之间的电弧加热区在确定的熔炼速率控制下被精确的保持。

在真空状态下的电弧高温熔炼能够使金属实现脱气、除氧和清除杂质的作用，从而获得纯净的金属材料坯

锭。熔化的金属在水冷铜坩埚的作用下冷却凝固，因此，高的熔化速率和电弧加热区的精确控制，能保证熔化金

属凝固方向的一致性，并防止凝固产生宏观偏析和减少微观偏析的数量，大大提高了凝固锭料的金属性能。

QVAR 真空电弧熔炼炉主要用钛，锆等易氧化金属及合金，铌钽等高温难熔金属及合金，精炼不锈钢、高温

合金的熔炼、提纯及铸锭。

设备特点

 炉形结构：一套电源配两台电弧炉 • 系统泄露率 ：1x10-6PaL/S

 最大熔炼能力：15T(以钛计) • 熔炼过程可自动或手动控制

 最大熔炼电流：40KA • 高清摄像360°监控电弧熔炼状态

 熔炼电压：10V-60V • 对地绝缘处理，提高电效率，节省能源

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 电极杆：不锈钢水冷套，内衬导电电紫铜管

 结晶器：水冷紫铜结晶器，法兰组合结构，方便装卸

 真空机组配置油池过滤器，提高机组使用寿命，降低生产成本

 非铜导电法兰采用堆焊铜后加工处理，确保导电面接触安全可靠，

提高使用寿命

规格型号

规格型号

技术指标

QVAR-1T QVAR-3T QVAR-5T QVAR-10T QVAR-15T

1 熔炼材料 钛及钛合金 钛及钛合金 钛及钛合金 钛及钛合金 钛及钛合金

2 最大熔炼量 1.5T 3T 6T 12T 16T

3 极限真空度 5x10

-2

Pa 5x10

-2

Pa 5x10

-2

Pa 5x10

-2

Pa 5x10

-2

Pa

4 压升率 1Pa/Hr 1Pa/Hr 1Pa/Hr 1Pa/Hr 1Pa/Hr

5 系统泄露率 1x10

-6

PaL/S 1x10

-6

PaL/S 1x10

-6

PaL/S 1x10

-6

PaL/S 1x10

-6

PaL/S

6 工作真空度 1x10

-1～5Pa 1x10

-1～5Pa 1x10

-1～5Pa 1x10

-1～5Pa 1x10

-1～5Pa

7 抽气速率 从大气压达到1.33Pa ≤20 分钟

8 坩埚最大直径 440mm 540mm 680/720mm 920/1040mm 1040/1150mm

9 电极杆直径 Ф160mm Ф160mm Ф200mm Ф300mm Ф300mm

10 辅助电极 Ф150x450mm Ф150x450mm Ф180x800mm Ф270x800mm Ф270x800mm

11 额定电流 12KA 20KA 32KA 40KA 40KA

12 工作电压 10～60V 10～60V 10～60V 10～60V 10～60V

13 稳弧线圈： 交直流电磁搅拌电流0～30A， 时间间隔3-300s

14 电极杆行程: 电极杆底部铜法兰伸出炉体底部铜法兰200mm，1500mm-2500mm

15 电极升降速度 伺服传动，最快600mm/min

16 炉体旋转速度 最大4500mm/min

17 设备地上高度 9000mm 10000mm 10000mm 10600mm 11000mm

7

设备介绍

沈阳七维新材料科技有限公司是中国真空冶金设备的技术和市场领先者，其成立于2019 年，

是一家以先进新材料制备、真空冶金、高品质金属粉制备、纳米粉制备、非晶合金制备等应用领域

真空仪器设备研制开发、生产、销售、服务为一体的科技型企业。好智多公司在应用于高质量金属

粉末生产的的真空惰性气体雾化设备的设计与制造方面具有丰富的经验。熔化与雾化技术的特定应

用组合可以生产更多种类的超清洁金属粉末， 包括高温合金、贵金属、有色金属合金和活性难熔

金属及其合金粉末。粉体材料可应用于 3D 打印、焊材、MIM、HIP、热喷涂、溅射靶材等领域。

设备类型

 电极感应惰性气体雾化制粉设备 EIGA

 真空感应惰性气体雾化制粉设备 VIGA

 双模式真空感应惰性气体雾化制粉设备 EIGA+VIGA

 定制的 EIGA 或 VIGA，特殊设计以满足客户的具体要求

共同特征：高球形度 高堆积密度 较窄粒径分布范围 低含氧量 良好流动性

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设备用途

在高真空环境下充入高纯惰性气体，将预制合金棒通过炉外升降旋转机构送入炉内锥型感应线

圈内感应加热熔化，束流熔滴直接流入特制的雾化器喷嘴系统，利用高压惰性气体进行雾化制粉的

成套设备。具有无坩埚材料污染，粉体球型度高等优点。采用电极感应熔炼和惰性气体雾化技术可

以制备超纯金属粉末。

制备粉体种类

 钛和钛合金(TiAl6V4,TiAl 等) • 超活性铜及铝合金

 锆、铌、钽基合金 • 其他特种金属及合金

 贵金属及其合金 • 高纯度高速合金钢

设备特点

 采用无坩埚悬浮熔炼技术，材料熔化过程无污染

 更低的系统泄漏率 1x10-8PL/S,高纯气体供给，有效控制增氧量

 最高熔化温度 2500℃，可生产更高熔点材料的粉体

 熔化速率与雾化工艺良好结合，有效控制粒径分布范围

9

 高压惰性气体雾化工艺保证粉体高的球形度和堆积密度

 有效的防尘防爆措,安全可靠

 精密制造，结构紧凑，布局美观

规格型号

产品型号 QEIGA-50 QEIGA-100

极限真空度 5.0×10

-3Pa 5.0×10

-3Pa

压升率 0.67Pa/Hr 0.67Pa/Hr

最大棒材规格 50 X 650mm 100 X 1500mm

最高温度 2500℃±10℃ 2500℃±10℃

加热方式 高频感应加热 高频感应加热

雾化气体压力 2.5~6MPa 2.5~6MPa

冷却水压力 0.2~0.4MPa 0.2~0.4MPa

冷却水入口温度 ≤30℃ ≤30℃

设备尺寸 6mX6mX7m 7mX7mX10m

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设备用途

该系统采用有坩埚真空感应熔炼技术熔化精炼金属原料，并通过浇铸机构将熔融金属液倒入预加

热中间包，从中间包导液管流入雾化喷嘴系统的细金属流经高压惰性气体射流后被雾化。熔融金属和

气体射流的结合产生雾化液滴，在雾化塔中凝固并形成球形的细粉。其生产的粉体材料具有含氧量低，

细粉收得率高， 流动性好等优点。

制备粉体种类

 镍基高温合金 • 高纯铜、铝和镁合金

 铁、钴、铬基合金 • 铁基非晶合金粉

 高合金钢 • 贵金属及其合金

设备特点

 采用陶瓷坩埚熔炼金属原材料，陶瓷坩埚中间包引流雾化

 更低的系统泄漏率 1x10-8PL/S,高纯气体供给，有效控制增氧量

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 熔化速率与雾化工艺良好结合，有效控制粒径分布范围

 高压惰性气体雾化工艺保证粉体高的球形度和堆积密度

 专用雾化喷嘴，优化雾化工艺，提高细粉收得率

 有效的防尘防爆措施，安全可靠

 精密制造，结构紧凑，布局美观

规格型号

产品型号 QVIGA-10 QVIGA-20 QVIGA-25 QVIGA-50

主要用途

实验室粉体研究贵

金属合金粉 制备

实验室粉体研究特

种合金粉体 制备

小规模生产 合金粉

体开发与制

备

高温合金、合金钢不

锈钢、有色金属合

金、非晶合金等

粉体制备

极限真空度 5.0×10

-3Pa 5.0×10

-3Pa 5.0×10

-3Pa 5.0×10

-1Pa

系统压升率 0.67Pa/hr 0.67Pa/hr 0.67Pa/hr 0.67Pa/hr

最大熔炼能力 10kg（钢） 20kg（钢） 25kg（钢） 50kg（钢）

熔炼最高温度

1700℃±5℃ 1700℃±5℃

1700℃±5℃ 1700℃±5℃

保温炉最高温度 1600℃±5℃ 1600℃±5℃

熔铸方式 底拔塞铸 拔塞底铸 翻转浇铸 翻转浇铸

加热方式 中频感应 中频感应 中频感应双包 中频感应双包

雾化气体压力 2—6MPa 2—6MPa 2—6MPa 2—6MPa

冷却水流量 10t/h 10t/h 15t/h 15t/h

冷却水进口压力 0.2—0.4MPa 0.2—0.4MPa 0.2—0.4MPa 0.2—0.4MPa

冷却水入口温度 ≤30℃ ≤30℃ ≤30℃ ≤30℃

压缩空气压力 0.5—0.7MPa 0.5—0.7MPa 0.5—0.7MPa 0.5—0.7MPa

设备空间 4.5mx4.5mx6m 4.5mx4.5mx6m 5mx5mx7.5m 6mx7mx12m

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产品型号 QVIGA-100 QVIGA-200 QVIGA-300

主要用途

、

高温合金、合金钢、

不锈钢、有色金属合金等粉

体制备

高温合金、合金钢、不锈钢、有

色金属合金等粉体制备

高温合金、合金钢 不锈钢、有

色金属合金等粉体制备

极限真空度 5.0×10

-1Pa 5.0×10

-1Pa 5.0×10

-1Pa

系统压升率 0.67Pa/hr 0.67Pa/hr 0.67Pa/hr

最大熔炼能力 100kg（钢） 200kg（钢） 300kg（钢）

熔炼最高温度 1700℃±5℃ 1700℃±5℃ 1700℃±5℃

保温炉最高温度 1600℃±5℃ 1600℃±5℃ 1600℃±5℃

熔铸方式 翻转浇铸 翻转浇铸 翻转浇铸

加热方式 中频感应双包 中频感应双包 中频感应双包

雾化气体压力 2—6MPa 2—6MPa 2—6MPa

冷却水流量 20t/h 30t/h 30t/h

冷却水进口压力 0.2—0.4MPa 0.2—0.4MPa 0.2—0.4MPa

冷却水入口温度 ≤30℃ ≤30℃ ≤30℃

压缩空气压力 0.5—0.7MPa 0.5—0.7MPa 0.5—0.7MPa

设备空间 6mx7mx12m 7mx7mx12.5m 7mx7mx12.5m

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设备用途

采用有坩埚底铸式真空感应熔炼及惰性气体雾化法制备金属及金属合金的微晶或非晶球形粉末。

适用于高温合金、特殊钢、铜合金、铝合金等材料的粉体研发与制备。

采用无坩埚电极感应熔炼及惰性气体雾化法制备特种合金粉末；适合于活性金属合金及高温难熔金属

合金等超纯金属粉体的研发与制备。

设备特点

 结合 EIGA 功能和 VIGA 功能，满足于不同种类粉体的制备，更适合于研究与开发

 采用专利技术，无需更换炉体，通过更换线圈和雾化器即可实现功能转换，操作简单便捷

 雾化工艺自主设定，满足不同规格粉体制备

 有效的防尘防爆措施，安全可靠

 精密制造，结构紧凑，布局美观

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规格型号

产品型号 QEVGA-1 QEVGA-2

极限真空度 5.0×10

-3Pa 5.0×10

-3Pa

压升率 0.67Pa/Hr 0.67Pa/Hr

EIGA 棒材规格 Φ35-50X200mm Φ50X600mm

VIGA 坩埚熔炼能力 5KG 20KG

EIGA 最高温度 2200℃ 2200℃

VIGA 最高温度 1750℃ 1750℃

加热方式 高频感应加热 高频感应加热

雾化气体压力 2.5~6MPa 2.5~6MPa

冷却水压力 0.2~0.4MPa 0.2~0.4MPa

冷却水入口温度 ≤30℃ ≤30℃

设备尺寸 4mX4mX4.5m 6mX6mX7.5m

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Vacuum Arc Melting furnace 设备用途

设计专门用于熔融样品，适合实验室、工厂用于材料研究、开发、质量控制等。可在0.3-0.7Ba

的高纯氩气保护环境下熔融、合金化反应性和高熔点金属材料。适合稀土金属元素及合金的熔融。也

可用于半导体材料如硅材料的熔融。

采用吸铸法制备块状或棒状合金试样，可用于制备大块非晶材料，采用翻转浇铸法制备块状或棒

状合金试样。

设备组成

本设备为单室方型不锈钢结构的新型电弧炉及气氛控制系统，系统主要由“真空获得及测量系统”“钮扣

锭电弧熔炼系统”“非自耗电弧熔炼吸铸及翻转浇铸系统”“ 电控系统”及“工作台架水路附件系统”组成。 性能指标

 真空获得采用分子泵+机械泵二级泵抽系统

 真空室为方型前开门结构，全不锈钢制造并电解抛光，主要零部件材质为304不锈钢 机架为铝型

材组合结构

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 极限真空度：6.6710

-4Pa，压升率≤0.67Pa/小时

 阴极电弧枪采用波纹管密封结构；通过步进电机驱动直线导轨升降，通过伺服电机自动旋转电弧

枪；可调节电弧枪摆角

 机械手采用波纹管密封，用于翻转合金锭

 电动旋转水冷铜坩埚：共十个工位：五个大的半球状熔炼工位，有效熔炼合金量：150 克（以Fe

计算），五个小的半球状熔炼工位，有效熔炼合金量：30 克（以Fe计算）

 电动旋转水冷铜坩埚上所有的工位均具有电磁搅拌功能

 非自耗电弧熔炼电源：DHL-1250，熔炼最大电流1000安培；引弧方式：高频引弧

 设有非自耗电弧熔炼翻转浇铸功能：坩埚容量：300克（以钛合金计）。翻转浇铸功能部件采用

步进电机驱动直线导轨水平移动，无需拆卸

 设有非自耗电弧熔炼吸铸功能：吸铸模外形尺寸：φ70×90mm，内部型腔尺寸φ6x70mm

典型客户

哈尔滨工业大学 西北工业大 东北大学

北京科技大学 中科院金属研究所

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Vacuum Arc Remelting furnace 设备用途

采用压制或感应炉熔炼的原料锭棒为电极，在真空或保护气氛下通过电弧高温熔炼或重熔该电极

原料的真空冶金精炼设备。

用于钛及钛合金、锆等活泼金属材料测试试样制备，用于特殊钢、高温合金、铜合金等材料的研

究开发，用于钨钼钒等难熔金属材料的电弧重熔试样制备。

设备组成

该设备主要由“真空获得及测量系统”，“自耗电极电弧熔炼系统” “真空室”，“电极杆升

降系统”，“水冷紫铜结晶器”，“电控系统”及“工作台架水路附件系统” 组成。

性能指标

 最大熔炼能力：5kg（以钛计）

 最大铸锭尺寸：Dn60mmx400mm

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 最大熔炼电流：1500A

 熔炼电压：20V-45V

 极限真空度：6.67x10-3Pa

 压升率：0.67Pa/Hr

 电极杆：不锈钢水冷套，内衬导电紫铜管，X-Y轴同心机构调整

 稳弧线圈：电流1～30A，

 磁场强度 0～120Gauss

 调整时间1s～300s

 辅助导电装置确保同轴供电

 高清摄像观察全面监控电弧熔炼状态

 熔炼过程可自动或手动控制

典型客户

东北大学

中科院金属研究所 哈尔滨工业大学

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vacuum induction melt spinning machine 设备用途

在真空或超纯气氛保护下，在高达106 K/sec的快速冷却速度下，制备非晶/微晶薄带或薄片材料。

采用喷铸法制备块状或棒状合金试样，可用于制备大块非晶材料，采用翻转浇铸法制备块状或棒状合

金试样。

设备组成

本设备为单室卧式不锈钢结构的高真空感应熔炼甩带设备，设备主要由“真空获得，测量及充气

系统”“感应熔炼甩带系统”“感应熔炼喷铸系统”“感应熔炼翻转浇铸系统”“电控系统” 及“工

作台架附件系统”等组成。

性能指标

 熔融温度范围：室温~ 2500℃；

 极限真空度：5 x 10-4 Pa；压升率：≤0.67Pa/H；通入工作气氛：氩气；工作压力范围：1.0- 2.0bar；

 典型的石英坩埚样品熔融量：70克（以铁计）；

 熔炼电源：35KVA；30-80KHz；

 感应熔炼翻转浇铸系统氧化镁陶瓷坩埚容量：500克（以Fe)计算。

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西安交通大学 昆明贵金属研究所

 感应熔炼喷铸系统：熔化合金量：10-70克，喷铸铜模内部尺寸：直径6mm，长度70mm；

 设备采用继电控制系统，设有水流继电保护功能，设有三项指示灯显示进电状态。

 典型的薄片厚度为20- 60µm，宽度可在1~ 10mm之间；

 可X-Y调节的坩锅支架，可变注射倾斜角，可变辊轮甩带接触面；

 铜制转轮，厚度50mm，最大表面速度60m/sec；

 铜辊的密封采用磁流体密封技术；

 先进的高频感应熔炼技术,功率35KVA；

典型客户

哈尔滨工业大学

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vacuum induction spinning wire machine 设备用途

该设备主要用于制备金属细丝，是集自动送料、感应熔炼、甩丝、收丝于一体的多功能高真空科

学仪器,尤其适用于适用于非晶材料丝材的研究及实验工作。

设备组成

设备主要由“真空获得，测量及充气系统”“感应熔炼系统”“单辊旋淬装置”“电动直线进给

机构”“电控系统”及“工作台架附件系统”等组成。

性能指标

 极限真空度：6.67x 10-4 Pa；

 系统检漏漏率：小于5.0x10-7 Pa.l/S；

 真空抽速：系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；

 压升率：停泵12小时后真空度≤20Pa；

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 真空抽气及测量系统：真空获得采用分子泵+机械泵二级泵抽系统，测量采用数显复合真空计；

 采用下进料机构：采用定向凝固合金料升降机构方式实现电动精密进给。

 进料速度在0~50mm/min之间连续可调、可升降。

 感应熔化机构：在料的上端有电磁感应加热线圈，超音频电源 通过感应线圈，可以对10~20克棒

状材料进行熔化；

 感应电源为深圳双平SPG50K-35型号超频感应电源。

 抽丝辊轮：在棒状材料的上方有高速旋转的铜辊轮，辊轮可以实现调速转动，稳定工作表面线速

度0-50m/s；

 采用变频调速电机，精度±0.02％；钼辊尺寸约φ150×20（外部尺寸）；辊轮动密封采用磁流

体密封方式。

 坩埚位置调节：可在腔体打开后微调坩埚，水平沿辊轮轴线方向±5mm。

典型客户

哈尔滨工业大学 中国矿业大学

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vacuum induction melting furnace 设备用途

真空感应熔炼炉用于在真空或保护气氛的条件下，对钢、特种钢、铝/镁及合金、高温合金、精

密合金、有色金属、稀土永磁材料等材料进行熔化浇铸成型。 兼具水冷铜模铸造、离心铸造功能。

设备组成

本设备为单室卧式不锈钢结构的高真空感应熔炼铸造设备,设备主要由“真空获得，测量及充气

系统”, “感应熔炼翻转浇铸系统”， “离心铸造系统”, “电控系统” ，及“工作台架附件系统”

等组成。

性能指标

 炉型：卧式侧开门周期炉

 最大额定容量： 2kg（浇出量、以钢计）

 熔炼电源： IGBT中频电源，30kw

 最高温度： 1800℃

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大连理工大学 西北工业大学 安徽工业大学

广东工业大学 中科院金属研究所

 极限真空度： 6.7×10-3Pa

 工作真空度：≤0.67Pa

 抽空时间：从大气状态抽至极限真空度小于20分钟（空炉、冷态、扩散泵预热完成）

 压升率：≤1Pa/hr(关阀15min后测量)

 坩埚翻转角度：-10°～+100°

 设有在线加料机构及测温机构；

 坩埚浇注：手动/自动翻转浇注

 具备带电浇铸功能

 离心机构转速：0-500rpm

 真空室设有两路进气阀门，可充保护性气体及大气；设有水流继电保护功能；

典型客户

吉林大学

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Cold crucible vacuum induction skull melting furnace 设备用途

冷坩埚真空感应熔炼炉是在真空或可控气氛下实现易氧化、活泼难熔金属的水冷铜坩埚感应熔炼

的设备，熔炼金属包括钛合金、铝合金、镁合金等高纯材料、活泼金属及其合金材料。合金熔炼后可

进行重力浇铸或离心浇铸到水冷铜模，实现无二次污染速凝。

设备组成

本设备为单室卧式不锈钢结构的高真空水冷铜坩埚悬浮熔炼铸造设备，设备主要由“真空获得，

测量及充气系统”“感应熔炼翻转浇铸系统”“水冷铜坩埚系统”“离心铸造系统”“电控系统”及

“工作台架附件系统”等组成。

性能指标

 设备极限真空度：5×10-3Pa（冷态）；熔炼室压升率≤1Pa/H；

 水冷铜坩埚有效容量： 2公斤（以钢计）；

 氧化镁陶瓷坩埚有效容量： 2公斤（Fe)；

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 水冷铜坩埚感应熔炼温度： 1750-2000度；

 分瓣水冷铜坩埚的每一瓣可独立拆卸更换；

 浇注方式：流槽定点，手动/自动翻转浇铸；提供水冷铜模一套；

 离心盘转速：0-500RPM；变频调速，离心盘外径： 300mm；

 电源为IGBT电源，功率100KW，设有过电流、过电压、欠压、缺相等多种保护环节。

 真空室设有两路进气阀门；可充入保护性气氛及大气；

 采用触摸屏+PLC控制系统。

 坩埚倾斜角度，前倾>100o，后倾>15o。

 设有在线加料机构及测温机构；

 具备带电浇铸功能

典型客户

哈尔滨工业大 西北工业大学 江苏科技大学

北京科技大学 太原科技大学 内蒙古科技大学

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Vacuum directional solidification furnace 设备用途

本设备是LMC（液态金属冷却的）布里奇曼凝固设备，可采用籽晶法制备单晶，主要用于制备单

晶高温合金试棒，定型凝固柱状晶合金试样，也可用于高熔点的材料（比如金属间化合物）试棒类零

件的定向凝固制备。

设备组成

设备主要由“真空获得及测量系统”“主机及样品加热控温系统”“ 定向凝固抽拉冷却系统”

“ 电控系统”及“工作台架水路附件系统组成”。

性能指标

 极限真空度：5×10-4Pa（冷态）；漏率<1×10-8Pa.L/s；压升率≤0.67Pa/H；停泵关机12小时后

残余气体压力小于10Pa

 样品加热温度最高2000oC

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西北工业大学 江苏科技大学

 发热体采用石墨，控温电源PID智能多段可编程控（fp93带通讯）；测温热偶采用钨铼偶；温度控

制：室温-1700 oC，±3 oC

 抽拉杆运动速度范围：1μm~1000μm/s；抽拉杆运动行程最大320mm，下拉行程170mm，上行程150mm，

抽拉杆运动速度可编程控，实现变速运动

 数显位移计记录抽拉距离，位移显示分辨率：1μm

 具有气动液淬功能。快淬行程：100mm；快淬时夹头移动速度：>100mm/s

 一套结晶器，抽拉杆直径为φ6-φ25mm，进口光杆，超硬材质。双层结晶器设有水冷却管路。

 镓铟合金冷却器的冷却水路单独设有水流保护联锁装置

 加热电源：35KW

 水流继电保护：报警（蜂鸣）并切断相关电源。真空室设有两路进气阀门；可充入保护性气氛及

大气

典型客户

哈尔滨工业大

北京科技大学 太原科技大学 内蒙古科技大学

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vacuum induction zone melting furnace 设备用途

采用高频感应加热，在真空或惰性气体保护下制备单晶和提纯材料的工艺设备。主要用于生产纯

度很高的半导体、金属、合金、无机和有机化合物晶体。该系统可采用籽晶法生产单晶，也可采用液

态金属冷却法LMC生产定向凝固柱状晶。

设备组成

设备主要由“真空获得，测量及充气系统”, “真空感应区域熔炼系统”，“真空室主机系统”，

“样品运动及LMC冷却系统”, “电控系统” ，及“工作台架附件系统”等组成。

性能指标

 极限真空度：6.67x10-4Pa

 压升率：0.67Pa/Hr

 最高温度：2500℃

 最大原料棒尺寸：Dn20mmx200mm

 高频感应电源最大功率：75KW

 样品移动速度：0.001-1mm/s

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 水平区熔和立式区熔两种结构

 水平区熔采用水冷铜坩埚为容器

 立式区熔为无坩埚直接区熔结构

 炉体为立式U型结构，全不锈钢制造

 分子泵真空机组，超高真空环境

 传动机构为滑轨导向，伺服电机控制

 双拉伸机构保证试样直线运动及转动平稳可靠

 闭环区熔感应加热

 PC+PLC控制系统实现设备的自动控制

 选配LMC/HRS布里奇曼凝固系统

典型客户

西北工业大学 吉林大学 哈尔滨工业大

内蒙古科技大学

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Vacuum induction melting inert gas atomizing powder equipment 设备用途

采用有坩埚真空感应熔炼及惰性气体雾化法制备金属及金属合金的微晶或非晶球形粉末。适用于：

高温合金，铜合金，铝合金，铁基非晶合金等可用陶瓷坩埚（或石墨及其它金属坩埚）熔炼的金属或

合金的雾化制粉。

采用无坩埚感应电极熔炼及惰性气体雾化法制备特种合金粉末，适合制备材料：钛合金，稀土类

易与陶瓷坩埚反应的合金，钒钛合金等。

典型的粉体形状：球型;典型的粉体粒径范围：d50: 45-100微米；总粉体获得率：不低于85%；

实验室专用多功能气体雾化制粉成套设备。

设备组成

设备主要由“真空获得测量及充气系统”， “电极感应熔炼系统”，“坩埚感应熔炼系统”，

“雾化制粉系统”， “粉末收集系统”，“电控系统”，“防爆系统”，“ 工作台架，水冷循环系

统及附件”等组成。

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昆明贵金属研究所

性能指标

 母合金锭尺寸：外径：35mm-50mm，长度：150mm；

 坩埚熔炼量：200G-2KG

 极限真空度：5×10-3Pa ；系统漏率：小于1×10-6PaL/S；

 输入电源电压：380V±10% 输入相数：３相 输入电源频率：50Hz；

 电极感应高频电源：75KW，频率：200KHz -400KHz；

 料锭进给速度：0-100mm/min,转速：0-120RPM,PID设定；

 采用触摸屏操作界面，保证设备操作可以单人完成；

 雾化塔内壁精细机械抛光，采用双层水冷304不锈钢结构；

 熔炼室，旋风收集室，进料仓等材质均为304不锈钢；

 安全防护及报警：设有膜片式防爆装置及静电防护装置

 断水及水压不足时自动切断感应熔炼电源，蜂鸣加故障

 灯闪光显示。

典型客户

哈尔滨工业大学 天津大学 北京理工大学

中科院金属研究所 东北大学

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Arc plasma Nano powder production line 设备用途

采用高真空直流电弧等离子体蒸发的工艺连续高效制备高纯度纳米金属及金属复合粉体，高质量、高

产率、高均匀混合单质纳米复合金属粉体。具有纯度高(99.7% 以上)，球形度高，粒度分布范围窄，

结晶度高，利于分散等特点。

设备组成

主要由高真空获得及充工作气体系统，直流电弧等离子体制粉系统，粉体收集气体循环系统，粉

体沉降布袋收集系统，真空手套箱系统，电气控制系统，水冷循环系统等组成。

性能指标

 产量：2-3KG（以纳米铜粉计）

 等离子体制粉系统极限真空度：7×10-4Pa

 真空手套箱系统极限真空度：7×10-3Pa

 漏率<10-8Pa.L/s

 手动水冷电弧枪二套；每只枪工作电流200~1000A

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 高性能等离子体制粉电源二台：DHL-1250

 高频引弧电源二套（固化在电源内，以减少占地面积）

 制粉室：材质304不锈钢，双层水冷

 气体循环系统：采用气体循环泵一台，不锈钢管路，流量调节装置一套

 粒径控制器一套：水冷不锈钢结构

 工作气体冷却系统：不锈钢换热器+水循环装置组成

 粉体沉降布袋捕集系统：粉体旋风沉降系统一套（水冷，不锈钢材质），布袋收粉系统一套（水

冷，不锈钢材质），电动刮粉装置一套

 真空手套操作箱（二只操作手套），一套

典型客户

南京理工大学

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vacuum hot press sintering furnace 设备用途

在真空或保护气氛及高温环境下对原材料通过机械加压进行致密化处理及烧结的设备。

金属及陶瓷粉末的热压烧结 陶瓷/金属复合材料及金属间化合物制备 扩散焊工艺的研究与开发

氧/氮/硼/碳化合物及其混合物的致密化热压烧结

设备组成

由“真空获得及测量系统”“主机系统”“液压加压系统”“加热控温系统” “电控系统”“工

作台架及水路系统”等组成。

性能指标

 真空室：立式U型，前开门，双层夹壁水冷，内外层材质均为304不锈钢；内外表面处理采用机械

抛光处理；

 真空获得系统为扩散泵+机械泵系统；真空测量采用数显复合真空计；

 极限真空度6.67×10-3Pa(冷态)；压升率小于0.67Pa/H；

 液压系统（单油缸，单向加压）：20T；

 液压行程：0-200mm；移动速度手动可调：1-10mm/s；移动距离设有标尺显示；

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 模具最大允许外形尺寸：Ø150×150mm；水冷不锈钢上/下过渡压头各一套；

 加热控温系统：最高加热温度：2200℃；

 加热体内部尺寸：160×160×160mm；控温精度：室温-1600℃±1.0℃；1600℃-2200℃±3.0℃；

 发热体采用石墨串联方式：方便更换发热体；保温层用石墨毡复合保温层；

 加热电源采用低压大电流电源（30KW）；控温电源采用日本岛电FP93表，PID可编程控；

 测温热偶采用真空炉专用WRW5Z-395钨铼偶；红外测温仪采用优质红外测温仪；

典型客户

哈尔滨工业大 吉林大学 北京航天航空大

重庆大学 西北工业大

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spark plasma sintering vacuum furnace 设备用途

放电等离子烧结设备是将金属等粉末装入石墨等材质制成的模具内，利用上、下模冲及通电电极

将特定电源脉冲电流和压制压力施加于烧结粉末，经放电活化、热塑变形和冷却完成制取高性能材料

的一种新的粉末冶金烧结工艺设备。

各种金属、非金属、合金粉末的热压烧结成型，功能陶瓷、金属陶瓷、金属间化合物、复合材料

的热压烧结制备，纳米晶块体材料的研发与制备，梯度功能材料的制备。

设备组成

由真空获得及测量系统、主机系统、压机框架组件、脉冲加热保温系统，加压系统、电控系统、

辅助配套系统等组成。

性能指标

 最高加热温度：2200℃

 温度控制方式及精度：PID，±1℃

 样品直径：≤Φ60mm

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 最大模具直径： ≤Φ150mm×200mm

 加热电流：8000A，电压10V

 脉冲时间：1-999ms连续设定

 极限真空度：6.7 x 10-3 Pa

 压升率：≤0.67Pa/H；可通入工作气氛：氩气

 加压压力： 0.1~10T

 压力控制方式及精度：PID，±0.1T

 加压行程： 0~100mm

 加压方式： 单向加压（上加压）

 温度及压力PID控制

 测温方式： 配备钨铼热电偶测温机构并预留红外测温仪测温窗口

 供气要求: 高纯氩或者高纯氮

典型客户

江苏理工大学 南京理工大学

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vacuum heating treatment furnace 设备用途

指在真空或气氛保护环境下，通过石墨或金属电阻加热处理材料的热处理设备。

真空加压气淬与回火，真空退火 ，真空烧结，真空钎焊

设备组成

设备主要由“真空获得，测量及充气系统”, “加热保温室”，“真空室炉体”， “内循环风

冷换热系统”, “电控系统” ，及“工作台架附件系统”等组成。

性能指标

 极限真空度： 5x10

-3Pa

 压升率： 0.45Pa/hr

 最高温度： 1600℃

 淬火冷却气体压力： 2bars.abs

 最大温区： 200mmx200mmx300mm

 温度均匀性： <±5℃

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 控温精度： ±1℃

 石墨电阻发热体或高温钼带发热体可选

 硬质碳毡隔热层或全金属屏隔热层可选

 触摸屏+PLC全自动控制系统配备

 用于烧结设备配备真空脱蜡脱脂系统

 晶闸管可控硅调压电源，供电平稳

典型客户

东北大学 西北工业大

挪威科技大

齐鲁工业大

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High temperature vacuum furnace 设备用途

使用温度超过2200℃电阻加热高温真空热处理炉，钨发热体，钨钼全金属保温隔热层高温热处理

炉用于高纯环境下的高温材料的真空粉末烧结，致密化处理等工艺研究；

石墨发热体，硬质碳毡隔热层超高温炉用于C/C复合材料沉积，高温陶瓷烧结，致密化，高温性

能测试等工艺研究。

设备组成

设备主要由“真空获得，测量及充气系统”, “高温加热室”，“真空炉体”， “电控系统” ，

及“工作台架附件系统”等组成。

性能指标

 最高温度：

 钨加热炉 2200℃

 石墨炉 2500℃-3000℃

 极限真空度：5x10

-4Pa

 压升率：0.67Pa/Hr

 炉型结构：立式上装料或底装料

 温区尺寸：Dn200mmx300mm

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 控温精度：±1℃

 热电偶低温段控温，红外测温仪高温段控温1400度自动转换

 高温段自然冷却，低温段可充惰性气体快速冷却

 分子泵真空机组

 进口优质石墨发热体和硬质碳毡

 全不锈钢制造，整洁美观

 触摸屏+PLC全自动控制系统

典型客户

西北工业大